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平板顯示屏前段制程自動光學檢測設備
線寬測量設備
中導光電線寬測量設備(CDOL)
,
其
主要應用于平板顯示前道制程領域的關鍵線寬尺寸測量,最高測量精度為亞微米級,
處于國內領先和國際先進水平
。
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